硅微熔壓力變送器采用MEMS硅晶片技術(shù),通過(guò)高溫?zé)Y(jié),與不銹鋼膜片結(jié)合為一體。產(chǎn)品無(wú)焊接縫、無(wú)硅油等中介介質(zhì)填充,重復(fù)使用性能穩(wěn)定,堅(jiān)固耐用,尤其適合大壓力的工況,產(chǎn)品抗震性能強(qiáng),體積小巧,重量輕,安裝使用方便。
硅微熔壓力變送器的工作原理:
基于MEMS(微電機(jī))技術(shù)的壓力傳感器,它是建立在微米/納米基礎(chǔ)上,在單晶體硅片上刻融制作惠斯登電橋組成的硅應(yīng)變計(jì),經(jīng)高溫熔化玻璃,將硅應(yīng)變片燒結(jié)在不銹鋼彈性體上,彈性體受壓變形后硅應(yīng)變片產(chǎn)生電信號(hào),由帶微處理器的數(shù)字補(bǔ)償放大電路進(jìn)行放大,經(jīng)數(shù)字軟件進(jìn)行全智能溫度補(bǔ)償,輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。
硅微熔壓力變送器的壓力量程的選用應(yīng)主要考慮三個(gè)方面的因素:傳感器的較大過(guò)壓能力、精度與壓力量程的關(guān)系以及傳感器的價(jià)格與壓力量程的關(guān)系。
1、量程的選用在考慮較大過(guò)壓能力時(shí),要特別注意靜壓和動(dòng)壓的區(qū)別。因?yàn)?,?dòng)壓往往會(huì)出現(xiàn)沖擊壓力,甚至沖擊波,而沖擊壓力遠(yuǎn)高于靜壓力,如果選用的較大工作壓力量程是指靜壓力的話(huà),傳感器在承受動(dòng)壓力時(shí),應(yīng)選用較大的過(guò)壓能力,否則沖擊壓力很容易達(dá)到極限耐壓,使壓力傳感器受到破壞。
2、量程的選用我們還要注意精度和量程的關(guān)系,一般情況下不同量程的壓力傳感器其精度存在差異,在選型時(shí)選擇合適的量程更容易滿(mǎn)足精度上的要求。