單晶硅壓力變送器通過(guò)隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測(cè)量膜片兩側(cè)。由測(cè)量膜片與兩側(cè)絕緣片上的電極各組成一個(gè)電容器。當(dāng)兩側(cè)壓力不一致時(shí)，致使測(cè)量膜片產(chǎn)生位移，其位移量和壓力差成正比，故兩側(cè)電容量就不等，通過(guò)振蕩和解調(diào)環(huán)節(jié)，轉(zhuǎn)換成與壓力成正比的信號(hào)。

 

　　單晶硅壓力變送器的產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　1、適合制作小量程的變送器

　　硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低量程段無(wú)死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個(gè)Kpa。

 

　　2、輸出靈敏度高

　　硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計(jì)高50～100倍，故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高。因此對(duì)接口電路無(wú)特殊要求，使用比較方便。

 

　　3、精度高

　　由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三部分由同一個(gè)元件實(shí)現(xiàn)，沒(méi)有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。

 

　　4、由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，彈性芯片較大位移在亞微米數(shù)量級(jí)，因而無(wú)磨損，無(wú)疲勞，無(wú)老化，壽命較長(zhǎng)的壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。

 

　　5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的擴(kuò)散硅壓力傳感器，也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。

 

　　6、由于芯片采用集成工藝，又無(wú)傳動(dòng)部件，因此體積小，重量輕。